離子滲氮可大幅度提高鐵素體性，馬氏體型和奧氏體型不銹鋼的硬度和耐磨性。在傳統(tǒng)的氣體滲氮時，由于氧化膜阻礙鋼表面吸收氮原子，滲氮前需采用酸浸、噴砂等方法去除氧化膜。而
離子滲氮的優(yōu)點之一就是滲氮前無需進行去鈍處理，離子轟擊可以直接去除鈍化膜。但需要指出的是，對高合金鋼的離子滲氮有時也打不到完善的硬化效果。在試驗和生產(chǎn)實踐中，不銹鋼離子滲氮時常出現(xiàn)滲層太淺、局部軟區(qū)、或甚至完全滲不上氮的情況，這是因為氧化膜沒有去除干凈。
在離子滲氮中影響氧化膜去除的主要原因是爐內(nèi)含氧量高（爐子漏氣率高活氣氛中含水量高）。零件在升溫或保溫初期雖然離子轟擊不斷去除原有的氧化膜，然而新的氧化膜又不斷生成。由于初期的離子濺射未能去除氧化膜，在以后的長時間保溫中，氮的滲入就極為困難。
高合金不銹鋼離子滲氮層出現(xiàn)不均的另一原因是離子滲氮時存在著離子轟擊不均勻的現(xiàn)象。此現(xiàn)象對一般結(jié)構(gòu)鋼滲層均勻性的影響不大，而對表面層有鈍化膜需靠離子轟擊去除才能進行滲氮的不銹鋼來說影響就極為明顯。
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