離子滲氮后零件尺寸一般都有稍微漲大，但是比氣體滲氮的漲大量小。這是因?yàn)殛帢O濺射抵消了一部分由于氮的滲入引起的體積漲大效應(yīng)。在滲氮零件的棱角處，由于相鄰兩個(gè)面同時(shí)滲氮的結(jié)果產(chǎn)生了較其他部位更為嚴(yán)重的尺寸膨脹，稱為邊緣突起。這對(duì)接觸面的承載能力有不良影響。由于存在陰極濺射，離子滲氮產(chǎn)生的這種邊緣突起比氣體滲氮小得多，并且可以通過(guò)強(qiáng)化陰極濺射，進(jìn)一步減小邊緣突起，獲得比較理想的輪廓。
降低滲氮溫度能顯著減小滲氮零件的變形。離子滲氮在350℃以上處理就有強(qiáng)化效果。采用低溫離子滲氮往往可以解決某些零件滲氮變形的難題。同時(shí)，低溫離子滲氮還具有保持零件足夠高的心部強(qiáng)度，增強(qiáng)承載能力等特點(diǎn)。
