離子氮化爐屬低真空設(shè)備范疇，一般情況下，設(shè)備經(jīng)過一段時間的使用，漏氣情況多少會存在。在漏氣較輕微的情況下，漏氣一般不會對工件的氮化質(zhì)量造成太大的影響（不銹鋼系列除外），但如果設(shè)備漏氣較嚴(yán)重，則漏氣會影響到工件的氮化質(zhì)量，必須予以檢修。
真空設(shè)備的檢漏相對來說是比較困難的，通常采用“分段”檢查的辦法，即一段一段的檢查。
第一步：首先將爐體與供氣系統(tǒng)分離，目的是分清漏氣是由爐體造成的還是由供氣系統(tǒng)造成的。將進氣管與鐘罩分離，然后將進氣接頭處封死（可使用我所提供的專用堵頭或真空封泥）。啟動真空泵抽真空，抽到較高真空度（如30Pa左右或更高）后，關(guān)閉蝶閥，停頓一段時間（15-30）分鐘后，觀察設(shè)備的漏氣情況。
第二步：在完成第一步工作后，若爐體漏氣，則逐個檢查可能產(chǎn)生漏氣的各密封部位（包括觀察窗、充氣裝置、鐘罩下部密封法蘭面、底盤上的大密封圈、測壓部分密封處、陰極部位密封處、蝶閥及抽氣管道之間的聯(lián)結(jié)法蘭面等），直至爐體基本不漏氣為止。注意：在實施以下檢查步驟時，要遵循“分段”檢查法的原則，即一個步驟一個步驟進行，每完成一個檢查步驟后，抽真空觀察效果，如果漏氣問題得以解決，則不再進行其它檢查。否則，再依次做檢查（檢查步驟可亂序進行）。
1、檢查觀察的玻璃視鐿是否破裂，若破裂則應(yīng)予更換。
2、檢查觀察窗上緊固玻璃視鏡的內(nèi)六角螺釘是否松動，若有松動情況，則應(yīng)予以堅固，但一定要對稱均勻緊固，且用力不得過大，以免壓碎玻璃。
3、檢查觀察窗內(nèi)外密封圈（白色）是否老化，若老化，則需更換新密封圈。
4、卸掉爐體底座上的自動充氣裝置，用沾汽油的干凈抹布除去密封橡皮和充氣密封面上的灰渣，重新照原樣安裝好。
5、檢查爐體底盤上測壓處的密封情況，緊固螺母若有松動予以緊固，若密封圈損壞應(yīng)更換。
6、檢查陰極部位的密封情況，緊固螺母若有松動予以緊固，若密封圈損壞應(yīng)更換。
7、檢查爐體鐘罩底部密法蘭面，如有銹跡、凹坑等損傷應(yīng)及時處理。（注意：每次吊起鐘罩，應(yīng)放置于橡皮板、木方或其它柔軟的支撐物上，以防損傷密封法蘭面。）
8、檢查爐體底盤上的大密封圈，如有損壞應(yīng)及時修理或更換。（注意：每次吊起鐘罩后，再次罩上鐘罩前，先用干凈毛刷將底盤及大密封圈上的灰渣除凈，然后用沾汽油的干凈抹布擦去密封法蘭面及大密封圈上的灰渣，以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏氣。）
9、檢查抽氣硬彎管各聯(lián)結(jié)法蘭面的緊固情況，若有松動，應(yīng)均勻緊固。若密封圈損壞，應(yīng)及時更換。
10、檢查碟閥內(nèi)密封圈上是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成蝶閥管不死而漏氣。發(fā)現(xiàn)存有此種情況，應(yīng)及時用沾汽油的干凈抹布清理干凈，然后涂上真空脂。注意：清理蝶閥密封圈時，切忌用汽油浸泡密封圈，否則密封圈漲大，蝶閥將無法開關(guān)。
第三步：在完成第一步的工作后，若爐體不漏氣，說明爐體各個密封部位完好。接頭再慢慢地打開蝶閥，此時可能出現(xiàn)以下兩種情況。
1、真空度在打開蝶閥的瞬間有一微小的下降，但其后不再繼續(xù)下降（即壓升率在設(shè)備規(guī)定的范圍內(nèi)或壓升率在工藝許可的范圍內(nèi)），則說明不銹鋼抽氣軟管、電磁閥及其連接部位完好。
2、如果真空度在打開蝶閥后持續(xù)下降，則說明電磁真空帶充氣閥，抽氣不銹鋼波紋軟管或軟管兩端的連接密封部位可能漏氣。出現(xiàn)這種情況，可按以下程序檢漏。
（1）首先檢查波紋管兩端的密封部位，若密封法蘭松動應(yīng)均勻緊固，若密封圈損壞應(yīng)及時更換。
（2）然后檢查電磁閥內(nèi)的密封圈是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成漏氣。發(fā)現(xiàn)存有此情況，可用沾汽油的干凈抹布將灰渣清理干凈。
（3）最后再檢查波紋軟管。檢查可采用密封加壓（壓力為0.1MPa）的方法進行，加壓后管體分段浸入水中，觀察漏氣部位。（加壓時應(yīng)避免波紋管伸長）
（4）第四步：在完成前三步工作，已解決爐體漏氣問題或確認(rèn)漏氣不是由爐體引起后，重新將第一步中與爐體脫離的進氣管連接到爐體鐘罩上（并保證接頭處密封完好），先關(guān)死各流量計，再啟動真空泵對爐體抽真空。此步驟的目的是檢查供氣系統(tǒng)的漏氣情況。
若發(fā)現(xiàn)設(shè)備又存在漏氣，可檢查進氣接頭部分、氣管、各種氣源流量匯流三通各連接處的密封情況，直至漏氣問題排除。
（1）檢查進氣管與進氣接頭和流量計出口接頭處的密封情況，若懷疑漏氣，接頭處可能真空封泥密封。
（2）檢查流量計能否關(guān)死。辦法是堵死流量計的進口端，比較堵死與僅關(guān)閉流量計的漏氣差異。如流量計關(guān)不死則需維修或更換。
（3）檢查輸氨軟管是否漏氣，若發(fā)現(xiàn)老化漏氣，應(yīng)予更換。
通常，完成上述幾個步驟的檢查后，爐體的漏氣問題是可以解決的。
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