離子氮化后零件的變形實際上是零件尺寸變化的一種表現(xiàn)形式。尺寸變化是由于氮化時工件表面吸收了大量的氮原子，生成各種氮化物或工件表層原始組織的晶格常數(shù)增大所致，宏觀上則表現(xiàn)為表層體積的略微增加。
氮化后零件的變形是一種普遍現(xiàn)象。各種氮化方法（氣體氮化、液體氮化和離子氮化）處理后的零件或多或少總會存在一定的變形。但應(yīng)該說明的是：離子氮化后零件的變形量較其它氮化方法要小。這是因為離子氮化中的“陰極濺射”有使尺寸縮小的作用，因而抵消了一部分氮化變形量。
影響變形的因素：
1.氮化后尺寸的變形量取決于零件表層的吸氮量。因而，影響吸氮量的因素均是影響變形的因素。
2.影響變形的因素主要有：材料中合金元素的含量、氮化溫度、氮化時間、氮化氣氛中的氮勢等。
材料中合金元素含量越高，零件氮化后的變形越大。
氮化溫度愈高、氮化時間愈長，零件氮化后的變形愈大。
離子氮化氣氛的氮勢越高，零件氮化后的變形愈大。
離子氮化氣氛的氮勢越高，零件氮化后的變形愈大。
變形的防治辦法：
變形是氮化過程中一種必然的現(xiàn)象，因此要徹底杜絕變形是不現(xiàn)實的。我們此處所說的“防治”主要有兩種含義：一是盡可能減小變形量；二是在變形不可避免的情況下，掌握變形規(guī)律，省去氮化后的再次加工。
減小變形的方法
1.根據(jù)工件的服役條件，正確選用材料。避免因追求工件性能而盲目使用“好”材料（高合金鋼）的現(xiàn)象。
2.根據(jù)工件的服役條件，提出合理的氮化要求，避免片面追求氮化層深度和硬度的現(xiàn)象。
3.正確做好氮化前的預(yù)先熱處理工作和“穩(wěn)定化”處理，預(yù)先熱處理工藝參數(shù)的制定必須正確，操作必須合理。對形狀復(fù)雜的零件，在最終精加工前必須進(jìn)行一次或幾次“穩(wěn)定化”處理。
4.在工藝允許的前提下，適當(dāng)降低氮化溫度，縮短氮化時間。
5.在保證氮化層性能的前提下，調(diào)整氮化氣氛。
6.合理裝爐，確保同爐工件溫度的均勻性。
變形規(guī)律，省去氮化后的再次加工
一般說來，在選材、工藝制定正確的前提下，如能合理裝爐，正確操作，則工件的變形是有一定規(guī)律的。掌握了變形的規(guī)律后，即可在氮化處理前的最后一道加工工序中根據(jù)變形量使工件尺寸處于負(fù)偏差，工件經(jīng)氮化處理后尺寸可正好處于要求的尺寸公差范圍內(nèi)，因而可省去氮化后的再次加工。
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