（1）真空計、測溫儀表、熱電偶應(yīng)定期校對。
（2）定期檢查壓升率。
（3）定期清洗真空泵，擦洗觀察窗玻璃。
（4）水管、氣管應(yīng)暢通無泄漏。
2、氣源：
（1）應(yīng)該用液氨的熱分解氣或氮氫混合氣作為氣源，
（2）液氨、氮氣和氫氣必須經(jīng)減壓后使用，減壓后壓力應(yīng)恒定，一般不超過20*104Pa。
（3）液氨須經(jīng)過干燥后使用（用分子篩或硅膠吸水），氮氫氣的純度（體積分數(shù)）應(yīng)大于99.8％。
3、工夾具及防滲：
（1）根據(jù)零件形狀，尺寸，重量準備專用或通用夾具，防滲部位要用鋼制的套，堵頭，螺釘?shù)燃右云帘?，工夾具與屏蔽物必須接觸良好，與零件間形成的間隙應(yīng)小于0.5MM。不允許在防滲部位采用鍍銅，鍍錫或覆蓋非金屬如水玻璃，陶瓷等，
（2）一般吊掛件下部，堆放件的上部，應(yīng)增設(shè)輔助陰極或陽極，以保證零件溫度均勻性。
4、試樣：試樣材料及預(yù)先熱處理與零件相同，檢驗面的粗糙度Ra應(yīng)小于0.8μn ，并盡量將大小厚薄，滲層要求相同的零件同裝一爐。
5、零件：
（1）零件表面粗糙度Ra應(yīng)小于1.6μn，倒棱.尖角去除毛刺，表面不得有脫碳層，氧化皮和銹斑，
（2）軸類零件應(yīng)抽查變形量，經(jīng)向圓周跳動量應(yīng)小于滲氮后磨削量的1/2。
（3）零件表面和內(nèi)孔應(yīng)用除銹劑，洗滌劑清洗干凈后方可入爐。
（4）零件與陽極的距離最好相等。多件生產(chǎn)時，零件最好放在同一直經(jīng)的圓周上，中間不放工件，零件間巨大于20MM。
（5）長零件應(yīng)垂直吊放，非工作面允許接觸，但不得形成輝光集中的間隙。
（6）熱電偶測溫頭要放在有代表性的位置，檢查陰極引線.熱電偶引線及陰極支座處是否均勻，不能短路和間隙過大。
（7）離子滲氮前的零件都要進行高于滲氮溫度30-50℃的人工時效或低溫退火.高溫回火等去應(yīng)力處理。
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