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電極和陰極支撐是離子滲氮熱處理過程中能否保證穩(wěn)定工作的重要部件之一，容易出現(xiàn)打弧、真空密封泄露等問題。
陰極和陰極支撐起輝的金屬部分與絕緣體（熔鑄云母）接觸位置要有約0.7~0.9mm的間隙（滲氮壓強越高，間隙越小），深約10mm，縫隙最好朝下，避免掉入雜物。
裸露在外的熔鑄云母要定期打磨外表面，清除表面濺射上的鐵膜。
離子滲氮爐的底盤上要有陽極和保護接地的專用接線處，爐底盤與鐘罩之間也要有可靠的陽極連線。